愛德華真空泵/EDWARDS真空泵/愛德華羅茨真空泵

EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。

應用

·                                半導體制程

·                                真空蒸餾

·                                真空包裝

·                                鋼脫氣

·                                薄膜覆層

·                                真空冶金

·                                低密度風洞

·                                空間模擬

·                                真空浸漬

·                                油干燥和脫氣

·                                制藥冷凍干燥

·                                CO₂激光

功能和優勢

·                                適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1的高抽速的應用場合。

·                                它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

·                                EH泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

·                                                       o   安靜的無振動運行。

·                                                       o   牢靠且防腐蝕。

·                                                       o   先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染

·                                防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

·                                經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到最低。

·                                軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

·                                動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

技術數據