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EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。 機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。 愛德華真空泵EH系列被廣泛應用于半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光 愛德華真空泵EH系列功能和優勢 1.適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。 2.它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。 3.EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供： 4.安靜的無振動運行。 5.牢靠且防腐蝕。 6.先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染 7.防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。 8.經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到最低。 9.軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。 10.動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。
EH1200
EH2600
EH4200
排量（工作容積）
1195 m3h-1 / 715 ft3min-1
2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1
4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1
使用前級泵時的有效抽速
840 m3h-1 / 495 ft3min-1
1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1
3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1
泵的壓力差
0-90 mbar/0-68 Torr
0-80 mbar/0-60 Torr
0-60 mbar / 0-45 Torr
進氣口連接
ISO160
ISO250
出口連接
ISO100
轉速
0-2900 rpm
連續進氣口工作壓力
0-1000 mbar/0-760 Torr
最大出口壓力
1000 mbar/760 Torr
推薦的前級泵
GV160、GV250、 E2M80、E2M175
GV250、GV400、 E2M175、E2M275
GV400、E2M275
電機功率
碳氫化合物
3 kW/4 hp
11 kW/15 hp
PFPE
7.5 kW/10 hp
ATEX
3 kW
11 kW
防爆
4 hp
15 hp
環境溫度范圍
工作
5 至 40°C/40 至 104°F
存儲
-10 至 80°C/14 至 176°F
最大工作濕度
90% RH
推薦用油
Ultragrade 20
油容量
齒輪箱
1.25 l/1.3 qt
3.5 l/3.3 qt
聯軸器蓋
1.5 l/1.6 qt
6.5 l/7 qt
軸封儲油器
0.125 l/0.25 qt
1.5 l/1.4 qt
重量
74 kg/163 lb
308 kg/679 lb
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